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定制xy移動隔振平臺

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  • 產品描述

臺面尺寸：定制的大理石臺面，形狀及尺寸

• 低固有頻率膜式空氣彈簧  垂直方向固有頻率：2.0 HZ  水平方向固有頻率：1.5 HZ

• 高精密高度閥與水平控制器

• 用途：光學、半導體加工及測量平臺