詢盤
臺面尺寸:定制的大理石臺面,形狀及尺寸
• 低固有頻率膜式空氣彈簧 垂直方向固有頻率:2.0 HZ 水平方向固有頻率:1.5 HZ
• 高精密高度閥與水平控制器
• 用途:光學、半導體加工及測量平臺